設備故障診斷系統(tǒng)資訊：西人馬公司MEMS芯片及傳感器生產線

如今的MEMS芯片及傳感器市場，除了發(fā)展歷史文化悠久的**旅游品牌，許多研究中國初創(chuàng)芯片技術公司也進入了我們大家的視野，這其中就可以包括2015年成立的西人馬公司。無線振動傳感器基于無線技術的機器狀態(tài)監(jiān)測，具有振動測量及溫度測量功能，操作簡單，自動指示狀態(tài)報警。應用于工業(yè)設備狀態(tài)管理及監(jiān)測控制系統(tǒng)；適合現(xiàn)場設備運行和維護人員監(jiān)測設備狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)問題，保證設備正?？煽窟\行。電渦流位移傳感器能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。一體化振動變送器將壓電傳感器和精密測量電路集成在一起，實現(xiàn)了傳統(tǒng)“傳感器+信號調理器”和“傳感器+監(jiān)測儀表”模式的振動測量系統(tǒng)的功能；適合構建經(jīng)濟型高精度振動測量系統(tǒng)。雖然西人馬在MEMS芯片及傳感器應用領域起步較晚，但卻走出了一條不同于其他國家企業(yè)的自主學習創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)之路。

自創(chuàng)立以來，西方人馬一直以感知和人工智能為基礎的核心技術研發(fā)，持續(xù)、大規(guī)模的投資，每年以數(shù)百項**的快速增長速度。 持續(xù)的研發(fā)投入也帶來了豐碩的成果，目前西方和馬來西亞在MEMS芯片和**傳感器領域擁有**的自主研發(fā)技術、測試設備和制造基地。 具有強大的生產能力以及滿足客戶需求的定制能力。 XIMA**的芯片和傳感器生產車間不僅具有芯片處理能力，而且具有全套標準傳感器性能和可靠性檢測能力。 能為客戶提供高質量、高產量、高效的服務。 據(jù)《智能制造驅動企業(yè)高質量運營》報道，西仁馬公司MEMS芯片及傳感器生產線車間，配備8英寸下兼容6英寸MEMS智能傳感器芯片生產線和中國**的MEMS器件加工平臺，擁有6000平方米的高級清潔車間，擁有**的制造、封裝和測試設備，如深硅蝕刻、鍵合、光刻、原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等。 并具有集成的大規(guī)模生產能力。 走進西人MEMS芯片無塵車間，我看到一臺高科技設備在滿功率運行，設備上閃爍的燈光提醒人們生產線繁忙。 在MEMS芯片制造工藝中，化學、物理或化學和物理方法來執(zhí)行蝕刻。 在光刻技術的基礎上，有選擇地圖案的轉印，其技術水平直接影響到*終產品的質量和**的生產工藝。 該器件采用電感耦合等離子體(ICP)實現(xiàn)蝕刻、鈍化沉積和蝕刻交替，快速形成高選擇性和高蝕刻速率的垂直側壁，廣泛應用于MEMS芯片中。 工作人員說. 蝕刻機進入薄膜車間，薄膜是指電子束蒸發(fā)、磁控濺射、化學氣相沉積等方法將所需物質涂覆在襯底的表面層上的過程，根據(jù)該過程的氣相變化特征，可分為PVD和CVD。 其中物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)是目前**上廣泛應用的一種**的表面處理技術,其工作原理是在真空條件下采用物理方法。 一種用于將材料源的固體或液體表面蒸發(fā)成氣態(tài)原子、分子或部分電離的離子，并低壓氣體(或等離子體)工藝在襯底表面上沉積具有特定功能的薄膜的技術。